L'utilisation des gaz dans l'industrie des semi-conducteurs remonte au début des années 1950 et 1960.Les gaz sont principalement utilisés pour nettoyer et protéger les matériaux semi-conducteurs afin de garantir leur pureté et leur qualité.Parmi les gaz les plus utilisés figurent l'azote et l'hydrogène.
En 1970, le développement de la technologie de fabrication de semi-conducteurs, qui a été poursuivi, a entraîné une augmentation de la demande de gaz.L'application de gaz dans les processus clés tels que la gravure et le dépôt de films minces a progressivement augmenté., et les gaz fluorés (par exemple SF6) et l'oxygène sont devenus des gaz de gravure et de dépôt couramment utilisés.L'année 1980 a vu une nouvelle augmentation de la demande de gaz avec le développement des circuits intégrés et l'augmentation de la demande de ces derniers.L'hydrogène a été largement utilisé dans le processus de fabrication, y compris le recuit à l'hydrogène et le dépôt de vapeur d'hydrogène.la demande de gaz de haute pureté et de gaz spécifiques a augmenté à mesure que les tailles des appareils semi-conducteurs ont continué de diminuer et que de nouveaux procédés ont été introduitsPar exemple, l'application de la lithographie ultraviolette extrême (EUV) nécessite l'utilisation de gaz à très haute pureté tels que l'azote et l'hydrogène.
Le gaz semi-conducteur continue d'augmenter avec le développement de produits connexes entraînés par de plus en plus de produits sont révélés, tandis que le gaz appartient également à la source de danger,les produits utilisés pour la décompression des gaz, des produits de détection de gaz et des produits de prévention des fuites de gaz ont émergé tels que des régulateurs de pression, des vannes à gaz, des manomètres de pression de gaz, des détecteurs de fuite de gaz, etc., et leurs rôles sont les suivants:
Régulateurs de pression: Les régulateurs de pression sont des dispositifs utilisés pour contrôler la pression des gaz. Ils se composent généralement d'une vanne régulatrice et d'un capteur de pression.Les régulateurs de pression prennent un gaz d'entrée à haute pression et stabilisent la pression du gaz de sortie en ajustant la vanne pour répondre aux exigences spécifiques de l'applicationLes régulateurs de pression sont largement utilisés dans des domaines tels que l'industrie, la fabrication et les laboratoires, ainsi que dans l'industrie des semi-conducteurs, entre autres.pour assurer la stabilité et la sécurité de l'approvisionnement en gaz.
Ventilateurs à gaz:Les vannes à gaz sont utilisées pour contrôler le débit de gaz et pour fermer les passages de gaz.y compris les vannes manuellesElles sont largement utilisées dans les systèmes de gaz pour contrôler le débit, la pression et le débit des gaz.
Mesureurs de pression des gaz:Les manomètres à gaz sont utilisés pour mesurer le niveau de pression d'un gaz.Ils sont généralement installés à des endroits critiques dans les systèmes de gaz pour surveiller les changements de pression et s'assurer qu'ils sont dans les limites de sécurité.Les manomètres à gaz sont largement utilisés dans l'industrie, la fabrication et les laboratoires, et l'industrie des semi-conducteurs a également été impliquée.
Détecteurs de fuites de gaz:Les détecteurs de fuite de gaz sont utilisés pour détecter les fuites dans les systèmes de gaz. Ils détectent la présence de fuites de gaz et déclenchent une alarme afin que des mesures puissent être prises en temps opportun pour prévenir les accidents de fuite.Les détecteurs de fuites de gaz sont largement utilisés dans l'industrie, les applications chimiques, pétrolières et gazières, et l'industrie des semi-conducteurs ont également été impliquées.