Au fur et à mesure que le marché des semi-conducteurs grandit, les normes de pureté et de précision deviennent plus strictes.L'un des facteurs déterminants de la qualité de la fabrication de semi-conducteurs est les gaz utilisés dans le processus.Ces gaz jouent de nombreux rôles dans le processus de fabrication, notamment:
Contrôle de processus de précision
Prévention de la contamination
Amélioration des propriétés métallurgiques
Pour remplir efficacement ces fonctions, le système d'approvisionnement et de distribution en gaz doit être efficace.La conception des systèmes de traitement des gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs doit être soutenue par des composants robustes et des ensembles personnalisés pour assurer une production fiable et de haute qualité de semi-conducteurs.
Gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs
Le processus de fabrication des semi-conducteurs nécessite l'utilisation de gaz différents à différents stades du processus.
Bien que des gaz communs tels que l'azote, l'hydrogène, l'argon et l'hélium puissent être utilisés sous leur forme pure, certains procédés peuvent nécessiter des mélanges spécialisés.Les halogénures et les hydrocarbures sont quelques-uns des gaz spéciaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteursBeaucoup de ces gaz peuvent être dangereux ou très réactifs, ce qui pose des problèmes dans la sélection et la conception des composants des systèmes de gaz.
Voici quelques exemples:
L'hydrogène et l'hélium peuvent facilement fuir des tuyaux et des systèmes de raccordement en raison de leur petite taille atomique et de leur poids.
Les silanes sont hautement inflammables et peuvent s'enflammer spontanément (auto-igniter) dans l'air.
Le difluorure d'azote utilisé dans les phases de dépôt, de gravure et de nettoyage des chambres devient un puissant gaz à effet de serre lorsqu'il fuit dans l'environnement.
Le fluorure d'hydrogène (gaz de gravure) est très corrosif pour les tuyaux métalliques.
Le triméthylgallium et l'ammoniac peuvent être difficiles à manipuler - de petites fluctuations de leur température et de leur pression peuvent affecter le processus de dépôt.
Le contrôle des conditions de processus afin de minimiser les effets négatifs de ces gaz doit être une priorité absolue lors de la conception du système.Il est également important d'utiliser les composants de la plus haute qualité tels que les vannes de diaphragme AFK pendant le processus de construction.
Répondre aux défis de conception des systèmes
Les gaz de qualité semi-conducteurs sont dans la plupart des cas de haute pureté et fournissent des conditions inertes ou améliorent les réactions à différents stades du processus de fabrication, tels que les gaz de gravure et de dépôt.Les fuites ou la contamination de ces gaz peuvent avoir des effets négatifsPar conséquent, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
En outre, certains de ces gaz peuvent être chauffés ou refroidis pour atteindre les conditions de processus souhaitées.qui est essentiel à l'efficacité du produit final.
De l'entrée de la source jusqu'au point d'utilisation, la large gamme de composants d'AFK prend en charge la pureté ultra-haute, la température,contrôle de la pression et du débit requis dans les salles blanches et les chambres sous vide pour semi-conducteurs.
Systèmes conçus avec des composants de qualité dans des fabrications de semi-conducteurs
Le rôle des composants de qualité et de l'optimisation de la conception est essentiel au contrôle précis et à la fabrication sûre des semi-conducteurs.Les composants utilisés doivent être robustes et sans fuite pour répondre aux différentes conditions de processus requises à différents stades de fabricationLes vannes, raccords, régulateurs, tuyauterie et supports d'étanchéité de haute qualité d'AFK se caractérisent par les caractéristiques suivantes:
Ultra-haute pureté
Sceaux sans fuite
Isolement à température réglée
Régulation de la pression
Résistance à la corrosion
Traitement par polissage électrolytique