Le processus de fabrication des gaz électroniques de spécialité inclut plusieurs processus tels que la synthèse, la purification, le remplissage, l'analyse et l'essai, le mélange et le proportionnement. Afin de répondre aux exigences de fabrication de semi-conducteur en aval pour le contenu de pureté et d'impureté, le processus de purification il est très important. Selon la composition du gaz de synthèse ascendant ou du gaz cru, la distillation de basse température ou la purification à plusieurs étages est exécutée.
Conditions élevées de propreté
Le procédé de préparation des gaz spéciaux électroniques peut être divisé en deux blocs importants de préparation et de purification ascendantes de synthèse, qui appartient au processus de fabrication chimique. La taille de la canalisation de production est grande, et il n'y a aucune condition spéciale de niveau de propreté. Après la purification en aval, le produit est rempli de gaz et mélangé pour la préparation. La canalisation de production est petite et a des conditions de niveau de propreté. Elle doit répondre aux spécifications standard du processus de fabrication de semi-conducteur.
Conditions de scellage élevées
En raison de leur activité chimique, les gaz électroniques de spécialité placent également des fortes demandes sur les matériaux et le scellage du système de processus de fabrication. Juste comme les conditions de la fabrication de semi-conducteur, il empêche la fuite d'interface provoquée par l'introduction des impuretés ou la corrosion des gaz spéciaux. Le système peut également être employé pour empêcher l'introduction des impuretés ou la fuite de l'interface provoquée par la corrosion des gaz spéciaux.
Conditions de haute qualité de stabilité
La qualité des gaz électroniques de spécialité inclut un certain nombre d'indicateurs tels que le contenu de particules de pureté et d'impureté. N'importe quel changement des indicateurs affectera les résultats du processus de fabrication en aval de semi-conducteur. Par conséquent, afin d'assurer la cohérence des indicateurs spéciaux électroniques de produit de gaz, le système de procédé de préparation pour commander la stabilité des indicateurs il est également très important.
En raison des conditions chimiques d'activité et de qualité de l'EGP, le système de production pour la préparation d'EGP, particulièrement le système en aval de purification, doit répondre aux exigences des matériaux de grande pureté, du cachetage élevé, de la propreté élevée et de la cohérence de haute qualité, et la construction des composants machinés doit répondre aux normes de l'industrie de semi-conducteur.
En tant que ce que nous nous référons généralement la « grande pureté » est théoriquement la définition de la pureté d'une substance, telle que des gaz de grande pureté, des produits chimiques de grande pureté, des systèmes de processus etc. ou des parties du système de processus qui sont appliquées aux substances de grande pureté désigné également sous le nom de grande pureté, comme les systèmes de grande pureté et les valves de grande pureté. Les systèmes électroniques de préparation de gaz de spécialité exigent des garnitures d'application de grande pureté, des valves, et d'autres composants liquides, c.-à-d., les garnitures et les valves qui sont traitées avec des matériaux de grande pureté et des processus de fabrication propres, et sont structurés pour la purge et le nettoyage faciles. Avec la représentation de scellage élevée. Ces composants liquides sont conçus pour rencontrer le chemin d'écoulement de processus de l'application, utilisant les conditions d'ingénierie et de construction de l'industrie de semi-conducteur.
Connexions de tuyauterie de grande pureté
Les connexions de joint de visage de garniture en métal de magnétoscope et les connexions soudées bout à bout de guide automatique sont très utilisées dans des conditions liquides exigeantes de processus de pureté de système dues à la capacité de rencontrer les deux la transition douce du chemin d'écoulement à la connexion, aucune zone de stagnation, et les connexions élevées du cachetage performance.VCR forment un joint extérieur étroit en expulsant une garniture relativement molle en métal. À représentation qu'on peut répéter et cohérente de connexion et de scellage est assurée chaque fois que la garniture déformée est enlevée et remplacée.
Des tubes sont soudés utilisant un système de soudure orbital automatique. Le tube est protégé par le gaz de grande pureté à tous les égards. L'électrode de tungstène tourne le long de l'orbite pour la soudure de haute qualité. Il fond le tuyau sans présenter d'autres matériaux, réalisant une soudure de haute qualité en commandant à plusieurs reprises le tuyau à parois minces est difficile réaliser soudure orbitale entièrement automatisée avec la soudure manuelle.
Connexion de joint de visage de garniture en métal de magnétoscope
Connexion orbitale automatique de soudage bout à bout des tuyaux
Valves de grande pureté
L'activité chimique des fortes demandes électroniques inflammables, explosives, corrosives, et toxiques d'endroits de gaz de spécialité sur le cachetage de la valve. Afin d'améliorer la fiabilité de scellage, la condition des valves packingless d'empêcher la fuite externe, c.-à-d., opération de commutation de la tige de valve et le corps de valve entre le joint utilisant des soufflets en métal ou le diaphragme en métal, afin d'éliminer la fuite due à la déformation de joint d'abrasion et d'étanchéité. les valves Soufflet-scellées et diaphragme-scellées sont utilisées généralement dans les systèmes de processus pour des applications de grande pureté en raison de la fiabilité plus grande des joints et du nettoyage et du remplacement plus faciles de purge des internals de valve.
les valves Soufflet-scellées sont une construction packingless de soupape à pointeau qui tient compte du règlement lent d'ouverture et d'écoulement. Utilisé pour le gaz électronique de spécialité remplissant de conditions d'écoulement de sécurité ou sur des bouteilles de source de précurseur d'exigences de sécurité élevées. Les joints entièrement métalliques d'astuce de tige tiennent compte d'extrêmement - de basses températures de fonctionnement et sont employés pour la liquéfaction cryogénique des gaz électroniques de spécialité dans des réservoirs de produit fini après distillation cryogénique pour la tuyauterie.
La valve Springless de joint de diaphragme est un 1/4" valve rupture-ouverte pour l'usage comme soupape à trois voies automatiquement commandée dans la tuyauterie de la livraison. Ils sont utilisés généralement dans l'ultra-haut-pression, les applications de grande pureté dues à leur chemin simple d'écoulement interne, le petit volume interne, et la facilité de la purge et du remplacement.
des valves Diaphragme-scellées qui se ferment par l'intermédiaire de l'astuce de tige peuvent s'ouvrir lentement et être employées à des pressions de fonctionnement plus élevées que les valves diaphragme-scellées non-jaillies. Elles sont très utilisées sur les bouteilles électroniques à haute pression de source de remplissage ou de précurseur de gaz de spécialité.
Le phoque secondaire beugle la valve peut non seulement être employé dans les systèmes très réduits de processus de la température à -200 degrés, mais empêche également la fuite des médias dangereux dans l'atmosphère. Habituellement utilisé pour les gaz spéciaux électroniques très dangereux, tels que le système remplissant de silane.
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