Solutions de technologie pour les systèmes de livraison de grande pureté de gaz pour des processus de semi-conducteur

June 11, 2022
Dernières nouvelles de l'entreprise Solutions de technologie pour les systèmes de livraison de grande pureté de gaz pour des processus de semi-conducteur

 

La technologie de grande pureté de tuyauterie de gaz est une part importante du système de grande pureté d'approvisionnement en gaz, qui est la technologie clé pour fournir le gaz de grande pureté exigé au point d'utiliser-et maintient toujours la qualité qualifiée ; La technologie de grande pureté de tuyauterie de gaz inclut la conception correcte du système, la sélection des garnitures et les accessoires, construction et installation, et essai. Ces dernières années, les conditions de plus en plus strictes sur la pureté et la teneur en impureté des gaz de grande pureté dans la production des produits de la microélectronique représentés par les circuits intégrés à grande échelle ont fait la technologie sifflante des gaz de grande pureté sont de plus en plus concernées et ont souligné. Ce qui suit est un bref aperçu de la tuyauterie de gaz de grande pureté de la sélection matérielle de la construction, aussi bien que de la gestion d'acceptation et quotidienne.

 

Types de gaz communs
Classification des gaz communs dans l'industrie électronique :
Gaz communs (gaz en vrac) : hydrogène (H2), azote (N2), oxygène (O2), argon (A2), etc.
Les gaz de spécialité sont SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, Co, C2F6, N2O, F2, à haute fréquence, HBR SF6 ...... etc.


Les types de gaz spéciaux peuvent généralement être classifiés en tant que le gaz corrosif, le gaz toxique, le gaz inflammable, le gaz combustible, le gaz inerte, etc. Les gaz utilisés généralement de semi-conducteur sont généralement classifiés comme suit.
(i) corrosif/gaz toxique : HCL, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.


(ii) gaz d'inflammabilité : H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, Co… etc.


(iii) gaz de combustibilité : O2, Cl2, N2O, NF3… etc.


(iv) gaz inerte : N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, Ne, Kr, lui… etc.


Beaucoup de gaz de semi-conducteur sont néfastes au corps humain. En particulier, certains de ces gaz, tels que la combustion spontanée SiH4, tant que une fuite réagira violemment avec l'oxygène dans le ciel et commencera à brûler ; et AsH3 fortement toxique, n'importe quelle légère fuite peut causer le risque de vie humaine, il est en raison de ces dangers évidents, ainsi les conditions pour la sécurité de la conception de système est particulièrement haute.

 

Champ d'application des gaz
Comme matière première de base importante d'industrie moderne, les produits de gaz sont très utilisés, et un grand nombre de gaz communs ou gaz spéciaux sont employés dans la métallurgie, l'acier, le pétrole, l'industrie chimique, les machines, l'électronique, le verre, la céramique, les matériaux de construction, la construction, le traitement des denrées alimentaires des produits alimentaires, la médecine et les secteurs médicaux. L'application du gaz a un impact important sur la technologie de pointe de ces champs en particulier, et est son gaz indispensable de matière première ou gaz de processus. Seulement avec les besoins et la promotion de divers nouveaux secteurs industriels et de science et technologie moderne, les produits d'industrie du gaz peuvent être développés à pas de géant en termes de variété, qualité et quantité.


Application de gaz dans l'industrie de la microélectronique et de semi-conducteur
L'utilisation du gaz a toujours joué un rôle important dans le processus de semi-conducteur, particulièrement le processus de semi-conducteur a été très utilisée dans diverses industries, des ULSI traditionnels, TFT LCD à l'industrie (MEMS) micro-électro-mécanique actuelle, qui emploient le soi-disant processus de semi-conducteur comme processus de fabrication des produits. La pureté du gaz a un impact décisif sur l'interprétation des composants et des rendements de produit, et la sécurité de l'approvisionnement en gaz est liée à la santé du personnel et à la sécurité des opérations d'usine.


L'importance de la tuyauterie de grande pureté dans le transport de grande pureté de gaz
En cours d'acier inoxydable la fonte et la fabrication du matériel, au sujet de 200g du gaz peuvent être absorbées par tonne. Après le traitement de l'acier inoxydable, non seulement sa surface collante avec de divers contaminants, mais également dans son trellis en métal a également absorbé un gaz. Quand il y a flux d'air par la canalisation, le métal absorbe la présente partie du gaz réintroduira le flux d'air, polluant le gaz pur. Quand le flux d'air dans le tube est écoulement discontinu, le tube adsorbe le gaz sous pression, et quand le flux d'air cesse le dépassement, le gaz adsorbé par les formes de tube une chute de pression pour résoudre, et le gaz résolu écrit également le gaz pur dans

 

Notion générale de technologie propre pour des canalisations de transmission et de distribution
Transmission fortement pure et propre de corps de gaz avec la tuyauterie des moyens qu'il y a de certains conditions ou contrôles pour trois aspects du gaz d'être transportées.


Pureté de gaz : Le contenu de l'atmosphère d'impureté dans la pureté de gGas : Le contenu de l'atmosphère d'impureté dans le gaz, habituellement exprimé en pourcentage de la pureté de gaz, telle que 99,9999%, également exprimée comme le rapport de volume du contenu page par minute de l'atmosphère d'impureté, ppb, ppt.
Sécheresse : la quantité d'humidité de trace dans le gaz, ou la quantité a appelé l'humidité, habituellement exprimée en termes de point de condensation, tel que le point de condensation de pression atmosphérique -70. C.


Propreté : le nombre de particules de contaminant contenues dans le gaz, dimension particulaire de µm, combien de particles/M3 à exprimer, pour l'air comprimé, habituellement également exprimé en termes de combien de mg/m3 des résidus solides inévitables, qui couvre le contenu d'huile.


Classification de taille de polluant : les particules de polluant, se rapporte principalement à la canalisation récurant, usage, corrosion produite par des particules en métal, particules de suie atmosphériques, aussi bien que les micro-organismes, bactériophages et gouttelettes contenant de l'eau de condensation de gaz, etc., selon la taille de sa dimension particulaire est divisés en
a) grandes particules - dimension particulaire au-dessus de 5μm


b) Particule - diamètre matériel entre 0.1μm-5μm


c) particules Ultra-micro - dimension particulaire moins de 0.1μm.


Afin d'augmenter l'application de cette technologie, pour pouvoir à la compréhension perceptuelle des unités de dimension particulaire et de μm, un ensemble de statut spécifique de particules est donné pour la référence

 

Ce qui suit est une comparaison des particules spécifiques
Μm de dimension particulaire de nom de taille de /Particle de nom de taille de /Particle de nom (µm) (µm)
Aérosol du virus 0.003-0.0 0.03-1 microdroplet Aerosolized 1-12
Cendres volantes 1-200 de la peinture 0.1-6 du combustible nucléaire 0.01-0.1
Pesticide 5-10 du lait en poudre du noir de carbone 0.01-0.3 0.1-10
Bactéries de la résine 0.01-1 la 0.3-30 poussière 5-100 de ciment
Fumée de cigarette la 0.01-1 poussière de sable 0.5-5 pollen 10-15
Cheveux 50-120 du pesticide 0.5-10 du silicone 0.02-0.1
Sable de mer concentré cristallisé 100-1200 de la poussière 1-11 de soufre du sel 0.03-0.5