Boîtier de distribution de manifold de valve VMB Wofly Technology pour applications au silane

Boîtier de distribution d'assemblage de vanne VMB pour silanes

Double assurance de sécurité et de précision dans la distribution de gaz spéciaux à haut risque

01 Fonctions principales

Distribution mono-source multi-chemins, contrôle indépendant des branches

L'équipement peut diviser une seule alimentation en gaz silane d'une armoire à gaz spéciaux en amont en plusieurs branches d'alimentation indépendantes, alimentant simultanément en gaz plusieurs unités de processus, et prend en charge la personnalisation des branches selon les besoins. Chaque branche est équipée d'une vanne marche/arrêt indépendante et d'une unité de surveillance de pression, permettant un contrôle séparé du débit de gaz et de l'arrêt pour la maintenance. La maintenance sur une seule branche n'interfère pas avec l'alimentation en gaz normale des autres branches, minimisant ainsi le risque d'arrêt de la chaîne de production.

Purge inerte et remplacement par le vide pour assurer la sécurité opérationnelle

Le système comprend des lignes de purge à l'azote de haute pureté (PN₂) et des lignes d'extraction par le vide intégrées. Avant la maintenance des branches, le démarrage ou l'arrêt de l'équipement, ou le démontage et le remontage des pipelines, le pipeline cible peut subir un processus complet de purge au gaz inerte et de remplacement par le vide, purgeant complètement le gaz silane résiduel des lignes et empêchant la combustion spontanée causée par le contact du silane avec l'air après l'ouverture de la vanne. Ceci est entièrement conforme aux exigences de sécurité opérationnelle pour les systèmes de silane décrites dans les normes techniques d'ingénierie pour les systèmes de gaz spéciaux.

Tuyauterie en acier inoxydable de qualité 316LEP

Surveillance de pression en temps réel et alertes d'interverrouillage en cas de conditions anormales

Chaque ligne de branche est équipée de manomètres de haute précision et de capteurs de pression qui affichent les conditions de pression en temps réel à l'entrée et à la sortie, et prennent en charge la configuration d'alarmes de limites de pression supérieure et inférieure. Combiné à des vannes d'arrêt d'urgence pneumatiques, le système peut rapidement couper la ligne de branche correspondante, voire l'alimentation principale en gaz, lors de la détection de risques tels qu'une pression anormale ou une fuite de gaz. Il déclenche des alarmes sonores et visuelles et s'intègre au système de contrôle central de l'usine pour réaliser une réponse d'urgence au niveau de la milliseconde.

Protection scellée sous pression négative, contrôle centralisé des fuites

Le système utilise une structure d'armoire entièrement fermée, dotée d'un port d'échappement supérieur et d'une grille d'admission inférieure, pour maintenir une pression négative stable à l'intérieur de l'armoire pendant le fonctionnement. Même en cas de fuite minime, le gaz silane est confiné à l'intérieur de l'armoire et extrait centralement via le système d'échappement vers l'unité de traitement des gaz d'échappement, empêchant le gaz de fuite de se propager dans l'atelier de production et éliminant les risques de combustion spontanée et d'empoisonnement au niveau spatial.

02 Caractéristiques principales

Conception de sécurité spécifiquement pour les gaz à haut risque

Spécifiquement optimisé pour les propriétés d'auto-inflammation et explosives du silane, le système peut être équipé de détecteurs de gaz silane et de dispositifs de détection de flammes intégrés. Tous les composants électriques répondent aux spécifications antidéflagrantes, et le mécanisme d'interverrouillage de sécurité multicouche est entièrement conforme aux normes de contrôle pour les gaz spéciaux à haut risque, dépassant largement le niveau de sécurité des VMB standard pour gaz inertes.

Alimentation en gaz de haute pureté de qualité électronique

Tous les composants de passage sont en acier inoxydable SS316L de qualité EP avec des surfaces internes polies électrolytiquement. La tuyauterie est fabriquée à l'aide d'un processus de soudage sur rail entièrement automatisé, garantissant l'absence de coins morts et de libération de particules. Les vannes subissent des tests d'étanchéité à l'hélium avec un taux de fuite de ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s, garantissant que la pureté du gaz silane reste intacte tout au long du processus et répond aux exigences des processus de fabrication de haute précision.

La conception autoportante offre une adaptabilité supérieure

La conception du support autoportant offre une plus grande capacité de charge et élimine le besoin d'une installation murale. Il peut être positionné de manière flexible dans divers environnements, tels que autour des salles blanches ou le long des couloirs de gaz spéciaux, le rendant plus adaptable aux agencements complexes des lignes de production par rapport aux VMB muraux.

                                                                                                                                                                                                        Vannes internes VMB / Vannes à membrane / Manomètres

03 Scénarios d'application principaux

Fabrication de plaquettes de semi-conducteurs

Compatible avec les processus de dépôt de couches minces tels que PECVD, LPCVD et ALD dans les lignes de production de plaquettes, ce système distribue précisément le gaz silane à plusieurs dispositifs de revêtement, assurant la stabilité du processus pour le dépôt de films de nitrure de silicium et d'oxyde de silicium. Il répond également aux exigences de contrôle de sécurité pour les gaz à haut risque dans les salles blanches, ce qui en fait la configuration standard pour la distribution secondaire de gaz spéciaux dans les usines de plaquettes.

Production de cellules photovoltaïques

Largement utilisé dans les lignes de production de cellules à haute efficacité telles que TOPCon, HJT et hétérojonction, ce système permet la distribution de gaz silane à plusieurs machines lors des processus de dépôt de couches minces à base de silicium et de dopage. Il répond aux demandes d'approvisionnement continu en gaz des lignes de production photovoltaïque à haute capacité tout en offrant une flexibilité pour les mises à niveau et les extensions de ligne, contribuant ainsi à réduire les coûts et à améliorer l'efficacité.

                                                                         - VMB -

Fabrication d'écrans de nouvelle génération et d'optoélectronique

Au service des lignes de production de panneaux d'affichage TFT-LCD, AMOLED et Mini/Micro LED, ainsi que des domaines tels que les préformes de fibres optiques et les semi-conducteurs composés, nous fournissons une distribution et une livraison de silane stables et contrôlables pour les processus de dépôt de couches minces et de gravure, adaptées aux agencements d'approvisionnement en gaz multi-machines à grande échelle des lignes de production de haute génération.

Instituts de recherche et laboratoires d'essais

Fournit des solutions de distribution de silane à petite échelle pour les plateformes de R&D de matériaux et de validation de processus dans les laboratoires universitaires et les institutions de recherche, équilibrant la sécurité opérationnelle avec la précision de l'approvisionnement en gaz pour répondre aux besoins des applications de gaz expérimentales en petits lots et multi-conditions.

Avantages des produits et services de la technologie Wofly En tant qu'entreprise nationale de haute technologie et entreprise « Spécialisée, Raffinée, Distinctive et Innovante », Wofly Technology possède des capacités indépendantes de R&D et de fabrication. L'entreprise a établi sa propre base de production de 8 000 mètres carrés, avec des ateliers d'assemblage en salle blanche de classe 100 et de classe 1 000. L'ensemble du processus de production pour la série complète de produits VMB, de la conception de la solution à l'assemblage des vannes, en passant par les tests et l'expédition, est réalisé en interne. Les produits peuvent être entièrement personnalisés pour répondre aux exigences spécifiques des clients concernant le nombre de sorties de gaz, les paramètres de pression, les modes de contrôle et les scénarios d'installation, répondant ainsi aux besoins des lignes de production de diverses industries et de différentes tailles.

                              Vue interne du VMB conçu spécifiquement pour les silanes

2. Qualifications complètes et conformité garantie

L'entreprise détient une qualification d'entreprise spécialisée pour les projets d'installation mécanique et électrique de bâtiments, une qualification GC2 pour la conception et l'installation de tuyauteries sous pression, et un permis de sécurité au travail. Nos produits ont obtenu plusieurs certifications, dont CE et ISO 9001. La conception et la fabrication respectent strictement les normes nationales pour l'ingénierie des gaz spéciaux, telles que GB 50646. Tous les équipements subissent des tests d'étanchéité à l'hélium complets et des tests fonctionnels avant de quitter l'usine, garantissant qu'ils sont prêts pour un fonctionnement conforme dès la livraison.

                                Une visite de la salle blanche de classe 1 000 de Wofly Technology

3. Service unique sur toute la chaîne industrielle

Au-delà de la simple fourniture d'équipements individuels, Wofly Technology propose une solution complète et unique couvrant l'ensemble du processus, de la planification de la station de gaz spéciaux, l'installation de la tuyauterie principale, la disposition des nœuds de distribution VMB, jusqu'à la tuyauterie secondaire au point d'utilisation. Cette solution englobe le cycle de vie complet, y compris la consultation technique, la conception du système, la préfabrication et l'installation, les tests et l'acceptation, ainsi que la formation aux opérations et à la maintenance. Les clients n'ont pas besoin de coordonner avec plusieurs fournisseurs, ce qui réduit considérablement les coûts de communication et de gestion de projet.4. Plus d'une décennie d'expertise industrielle et une vaste expérience de mise en œuvre

Avec plus d'une décennie d'expertise approfondie dans le domaine des gaz spéciaux pour l'industrie électronique, nos services couvrent plusieurs secteurs, notamment les semi-conducteurs, le photovoltaïque, la biopharmaceutique et les instituts de recherche. Nous avons mis en œuvre avec succès des centaines de projets d'ingénierie de systèmes de gaz spéciaux. Notre équipe principale possède une vaste expérience dans la conception et la construction de systèmes de gaz spéciaux à haut risque, ce qui nous permet de répondre rapidement aux besoins des clients et de fournir des solutions optimales adaptées aux conditions d'exploitation réelles.

Vitrine des VMB et armoires à gaz spéciaux de Wofly Technology

En tant que « hub de point d'utilisation » des systèmes de gaz spéciaux électroniques, le VMB spécifique aux silanes est un composant essentiel pour garantir un approvisionnement en gaz sûr, stable et de haute pureté aux lignes de production. Wofly Technology continuera de privilégier la technologie, en optimisant itérativement ses produits pour diverses conditions d'exploitation de gaz spéciaux à haut risque afin de fournir à l'industrie manufacturière haut de gamme des solutions de systèmes de gaz spéciaux plus fiables et personnalisées.