WOFLY dévoile un boîtier collecteur de vannes en silane (VMB) de haute sécurité pour renforcer la fabrication de semi-conducteurs et de panneaux photovoltaïques

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), un fournisseur de premier plan de systèmes de distribution de gaz de très haute pureté, a officiellement lancé sa boîte à soupapes à soupapes spécialisée Silane (VMB).Conçus spécialement pour la distribution de gaz spéciaux dangereux, ce nouveau système offre une double garantie de sécurité et de précision pour les procédés critiques dans les industries des semi-conducteurs, photovoltaïques et optoélectroniques.

Le silane (SiH4) est une pierre angulaire de la fabrication d'électronique moderne, mais présente des risques extrêmes en raison de sa nature pyrophorale et explosive.La nouvelle série VMB de WOFLY répond à ces défis grâce à une combinaison d'innovation structurelle et de contrôles de sécurité intelligents.

Distribution avancée et contrôle indépendant

Le WOFLY VMB est conçu pour diviser une seule source de gaz en amont en plusieurs branches de distribution indépendantes, fournissant du gaz à plusieurs outils de processus simultanément.Chaque branche est équipée de vannes d'arrêt indépendantes et d'unités de surveillance de la pression, permettant une maintenance et un dépannage isolés sans interrompre le fonctionnement d'autres lignes de production.

Caractéristiques essentielles de sécurité et excellence technique

1Système de purge et de déplacement inerte

Équipé de lignes intégrées de purge et de vide à l'azote (PN2) de haute pureté, ce qui assure l'élimination complète du silane résiduel avant l'entretien ou les changements d'équipement,en respectant strictement les normes de sécurité pour éviter la combustion spontanée au contact de l'air.

2Surveillance en temps réel et alarmes de verrouillage

Des capteurs et jauges de pression intégrés de haute précision fournissent une réponse au niveau des millisecondes.déclenchant une isolation immédiate en cas d'anomalies de pression ou de fuites.

3. Encastrement à pression négative

L'armoire en acier inoxydable 316L entièrement fermée maintient une pression négative stable.élimination des risques pour l'environnement de l'atelier.

4. Pureté de qualité électronique

Tous les composants humides sont fabriqués en acier inoxydable de qualité SS316L EP (électropolissage).Environnement exempt de particules avec une vitesse de fuite d'hélium ≤ 1 × 10−9 atm·cc/s, préservant l'intégrité du gaz de haute pureté.

Applications industrielles à grande échelle

La polyvalence et la robustesse de la conception du WOFLY Silane VMB en font la configuration standard pour:

- Fabrication de gaufres à semi-conducteurs:Essentiel pour les procédés de dépôt de films minces tels que PECVD, LPCVD et ALD.

- Production de cellules photovoltaïques:Largement utilisé dans les lignes de cellules à haut rendement telles que TOPCon et HJT pour le dépôt de films à base de silicium.

- Fabrication avancée d' affichage:Prise en charge de la production TFT-LCD, AMOLED et Mini/Micro LED.

- Recherche et laboratoires:Fournir une distribution précise à petite échelle pour la R&D des matériaux et la vérification des processus.

"La sécurité et la pureté ne sont pas négociables dans la manutention de gaz spécialisés", a déclaré le directeur technique de WOFLY. "Notre nouvelle Silane VMB n'est pas seulement une boîte de distribution; elle est aussi un outil de distribution.C'est un bouclier de sécurité complet qui permet à nos clients de faire évoluer leur production en toute confiance.. "

Pour plus de détails sur le VMB Silane ou pour explorer notre gamme complète de solutions de manutention de gaz, veuillez visiter notre site Web àLe nom de l'établissementou contactez-nous à info@szwofly.com.

À propos de WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) est un fabricant et ingénieur spécialisé dans les systèmes de distribution de gaz de haute pureté.WOFLY dessert l'industrie mondiale de la haute technologie avec des régulateurs de haute précision, VMB, armoires à gaz et solutions de tuyauterie intégrées.